氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵維修案例

氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵維修故障及處理

　　1、儀器界面上TMP顯示“0"即分子泵沒有工作

　　有可能是前級(jí)壓力過高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵無法啟動(dòng)。檢查導(dǎo)致壓力過高的項(xiàng)目有：真空規(guī)管是否有問題，分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟或機(jī)械泵是否轉(zhuǎn)動(dòng)，系統(tǒng)是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　2、分子泵加速指示燈不亮

　　電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷，更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。

　　3、分子泵故障燈亮

　　檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應(yīng)該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障

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